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晶圓設(shè)備，微粒過(guò)濾和控制AMC是必須的。微粒過(guò)濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)首要擔(dān)心的問題。不能很好的在潔凈室或設(shè)備中控制微粒或AMC將大大的削弱企業(yè)的經(jīng)營(yíng)利潤(rùn)。潔凈室的主要的問題是產(chǎn)品、工具、加工過(guò)程和氣味控制的污染。

傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是在車間的整個(gè)天花板上布滿高效過(guò)濾器，整個(gè)地面為回風(fēng)柵板。如今我公司生產(chǎn)的FFU 使用自帶風(fēng)機(jī)的過(guò)濾裝置，解決了繁復(fù)的安裝和性價(jià)比問題，是目前市場(chǎng)上一種安靜、價(jià)格優(yōu)良的機(jī)組，為潔凈室輸送高質(zhì)量的循環(huán)空氣。

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